一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法

本发明公开了一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法，涉及半导体检测与数据解析技术领域，包括构建多格式规则库，接收批量Klarf文件和对应缺陷图片文件夹，提取缺陷图片文件名中图片编号；读取Klarf文件预设数量Defect数据的字段名，与多格式规则库进行匹配，并采用自适应解析算法根据匹配结果选择解析策略；对解析后的Defect数据进行预处理，采用三层校验算法计算关联置信度，生成关联结果表。本发明实现了半导体缺陷检测数据处理的自动化、标准化和高可靠性。