一种基于拓扑优化的多模干涉仪材料设计方法

本发明公开了一种基于拓扑优化的多模干涉仪材料设计方法，构建了多模干涉仪器件的几何网络模型，包括器件区域和PML层，所述器件区域包括Input区域、Design区域和Output区域，所述Output区域包含至少一个端口，所述Input区域和Output区域的区域材料填充为Si，所述Design区域材料在Si和SiO2间通过拓扑优化求解其分布。本发明通过结合拓扑优化、二值化处理和MarchingTriangle算法，本发明成功实现了从理论优化到物理实现的完整设计链路。