一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法

本申请涉及轴承控制技术领域，尤其涉及一种用于分子泵磁悬浮轴承的控制方法，本申请提出以下方案，获取转子相对于磁悬浮轴承的径向位移观测量；在平均抽运的约束条件下，向径向X力通道和径向Y力通道注入零均值微扰并采集响应数据；基于响应数据计算分式延迟参数集合及其不确定域；根据所述参数集合更新时变控制矩阵，生成控制电流指令以驱动对置电磁极；本申请通过在时间域与角度域同时实现零均值约束和能量均衡，精确辨识并补偿横向非互易分式延迟，有效提高磁悬浮轴承的稳定性和分子泵的抽运性能。