多功能三温探针台设备

本发明公开了一种多功能三温探针台设备，涉及半导体测试技术领域，多功能三温探针台设备包括上料台、下料台、三温探针测试台以及转移装置；上料台的顶部设置有扩晶环蓝膜上料模组和膜盒上料模组；上料台和下料台沿横向间隔设置，下料台的顶部设置有扩晶环蓝膜下料模组；三温探针测试台设置于上料台和下料台之间，三温探针测试台包括机架和设置于机架上的探针测试机构和载物机构，载物机构能在测试工位与第一上下料工位以及在测试工位与第二上下料工位之间移动，探针测试机构设置于载物机构的上方并对应测试工位的位置；转移装置设置于三温探针测试台沿纵向且靠近第二上下料工位的一侧。该多功能三温探针台功能更加强大。