摘要
本申请提供的一种高密度桥连封装方法和封装结构,涉及半导体封装技术领域。该高密度桥连封装方法包括提供具有第一芯片和第一金属柱的载具;第一芯片和第一金属柱设于载具的同一侧,且相互有间隔。第一芯片设有第一焊盘。第一芯片设有保护层,保护层具有露出第一焊盘的第一凹槽。在载具上形成包覆第一芯片和第一金属柱的第一塑封体。在第一塑封体上开设露出第一焊盘的第二凹槽。在第二凹槽形成与第一焊盘电连接的第一导电柱。在第一塑封体上形成第一布线层;第一布线层分别与第一金属柱和第一导电柱电连接。可避免第一导电柱的间隙过小导致塑封体填充不足的空洞现象,以及确保第一导电柱的间隙均匀,提升与布线层连接的可靠性。
技术关键词
封装方法
布线
封装结构
芯片
高密度
导电柱
凹槽
焊盘
曝光显影方式
半导体封装技术
衬底
空洞现象
开槽方式
光刻胶
缓冲
受力
蚀刻
激光