摘要
本发明公开了一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法,所述结构由激光器芯片和集成光学微腔芯片异质集成,集成光学微腔芯片包括偏振分束器、两个环形滤波器、Add‑drop型微腔和两个输出端口;偏振分束器用于将激光器芯片注入的激光分为TE模和TM模,并且具有不同的功率配比,分别注入两个环形滤波器;两个环形滤波器分别设置有加热电极,用于控制所通过的波长大小,两个环形滤波器具有不同的直径用于传输不同的波长;Add‑drop型微腔用于产生光频梳,微腔上方设置有加热电极,用于控制通过微腔的谐振波长。本发明能够解决现有的光频梳调试系统庞大、调试复杂的问题,可极大地减小微腔光频梳的体积,降低功耗。
技术关键词
环形滤波器
集成光学
光频梳
偏振分束器
微腔
加热电极
二氧化硅
接触电极
波长
波导端面
半导体激光器芯片
铌酸锂衬底
铌酸锂薄膜
光刻
异质
调试系统