概述

振动惯性传感技术是惯性导航、姿态控制和定位技术的重要组成部分，广泛应用于军事、工业和消费领域。随着技术的演进，惯性技术从第一代机械传感发展到第三代振动传感（如MEMS技术），成为军民应用领域全覆盖的高价值技术。然而，欧美国家长期把持惯性技术核心，实施严格的技术和产品封锁，导致我国在高精度惯性器件和微系统集成技术方面存在显著短板。国内尚未完全掌握高精度惯性器件的微系统集成技术，无法解决基于国产化器件的精确姿态测量和定位导航问题，这严重制约了惯性技术在行业专用领域的规模化应用。

需求详情

1高精度惯性器件的微系统集成封装针对国产化器件的微系统集成技术难点，开发全温及非线性误差补偿、振动干扰隔离、三维异质集成封装等技术。实现石英MEMS芯片与硅器件的异质键合，以及ASIC与MEMS敏感芯片的三维互联。2基于全国产化器件的姿态精确测量和定位导航开发高效率异质分层自主信息融合处理算法、增强型微系统自适应处理技术以及高精度定位导航策略库。通过动态滤波算法和自适应异构传感接入，解决复杂运动姿态下的全域环境适应性问题。3惯性技术在行业专用领域的规模化应用推动惯性技术在无人机、自动驾驶、工业机器人等领域的应用，开发专用行业应用产品。通过人工智能模式识别方法和长航时航向保持技术，实现复杂运动状态下的高精度定位。

技术参数

项目总指标1、振动陀螺性能指标：- 短期偏移稳定性：≤0.05°/h- 分辨率：≤0.005°/s- 输出噪声：≤0.02°/s/√(Hz)2、惯性测量单元精度指标：- 姿态测量精度：俯仰/横滚精度 ≤0.02°RMS- 航向精度：≤0.1°RMS